電感耦合等離子體質譜ICP-MS，是20世紀80年代發展起來的新的分析測試技術。它以獨特的接口技術 將ICP-MS的高溫電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的 元素和同位素分析技術。

電感耦合等離子體質譜儀用來測定超痕量元素和同位素比值，具有很低的檢出限，基體效應小,譜線簡單等特點，廣泛應用于環境保護、食品安全、醫藥生物等很多領域。由等離子體發生器，霧化室，炬管，四極質譜儀和一個快速通道電子倍增管（稱為離子探測器或收集器）組成。

工作原理：霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過1～2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系,可測出元素的含量或同位素比值。