不同來源的 PM2.5其化學組成亦有不同，對健康的影響亦不相同。毒理學實驗已經表明金屬元素是大氣顆粒物中造成健康危害的可能性組分。由于 PM2.5 對重金屬的攜帶能力較 PM10 更強，鉛、錳、鎘、汞、銅、砷、硒、鉻等含量較高，有害物質且在大氣中的停留時間長、輸送距離遠 , 對人體健康的危害更大，需要準確分析其中的含量從而為更高效地提升治理污染提供參考。

ICP-MS 7700電感耦合等離子體質譜

測量原理采用重量法測量，其原理為采樣泵抽取一定體積的空氣進入切割器，將空氣動力學直徑小于 2.5 μm 的顆粒物切割分離 , PM2.5 顆粒隨著氣流經切割器的出口被阻留在已稱重的濾膜上。采用的濾紙：47 毫米纖維濾膜僅用于稱重，47 毫米 Teflon濾膜用于重量和無機化學分析，47 毫米石英濾膜用于重量和無機化學分析。石英濾測定水溶性離子物種離子K+、Na+、Mg2+ 和 Ca2+，Teflon 濾膜微波消解后測定 As、Hg、Se、Pb、Cd、 Cr、Cu、Al、V、Zn、Mn、Fe。

ICP-MS 7500電感耦合等離子體質譜

ICP-MS 具有良好的線性范圍和檢出限的特點，對于 PM2.5中高含量的 Ca、Mg、K 等，和低含量的 Pb、As、Hg 等具有很好的測試效果。采用去離子水萃取石英濾膜和三酸微波消解Teflon 膜后，在 ICP-MS 測定重金屬含量的一整套方法。其中包括的去離子水萃取的步驟和微波消解的程序，以及 ICP-MS 在同一條件下，測定所有元素的方法。

實驗結果表明 ICP-MS 具有線性范圍很廣、檢測限很低的優點，完全滿足 PM2.5 中重金屬快速、準確測定的需要。