自60年代電感耦合等離子體(ICP) 問世以來，由于它具有靈敏度高，穩定性好，基體效應小，線性范圍寬及多元素同時測定等優點，因此以ICP為光源的發射光譜儀在分析領域內得到越來越廣泛的應用。ICP-OES可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppb以下。同時可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、 P、S、Si、 Te等，檢出限低于10ppb，如果配合使用氫化物發生器，這些非金屬的檢出限可以改善10倍以上。

電感耦合等離子體發射光譜技術的發展史來看大致經歷了四個時代:

第一代:以棱鏡為分光元件，以感光板為測量器的攝譜儀;

第二代:以固定棱鏡或光柵為分光元件，以多個光電倍增管(PMT)為檢測器的多道直讀ICP光譜儀時代;

第三代:以轉動平面光柵為分光元件，以單個光電倍增管(PMT)為檢測器的單道掃描ICP 光譜儀時代;

第四代:以中階梯光柵+光柵或棱鏡構成的二維色散系統為分光系統，以平面固體檢測器為檢測器的全譜直讀ICP時代。

從ICP技術的發展歷程來看，中階梯光柵系統取代全息光柵;平面固體檢測器取代光電倍增管;全譜直讀型ICP取代早期的多道及單道ICP已經是不爭的事實。

珀金埃爾默公司由珀金●理查德和埃爾默●查理斯于1937年4月創立，很快成為美國精密光學儀器的主要供應商，1944 年成功推出世界上第一臺商用紅外光光度計-12型，這項新技術就是現代化學分析基本手段的鼻祖。1955年5月，珀金埃爾默公司推出世界上第一-臺商用氣相色譜儀-154型。1957 年匹茲堡會議上，公司推出世界首臺雙光束紅外光譜儀137 型。與此同時，珀金埃爾默公司成為世界上第-家進入國際市場的科學儀器制造商。
60年代珀金埃爾默公司以其研制的世界第一臺原子吸收分析儀-AA303型占據了世界分析儀器行業領先地位。1972年,公司進入液色相譜市場，成功地推出最早的帶梯度泵的液色相譜儀1220型。1975 年，公司最早將微機技術引入460型AAS，使分析更輕松更有效。1983年珀金埃爾默公司研制開發出世界上第一臺用于商業的ELAN 250 型ICP-MS, 1987 年又相繼推出世界第一一臺耐HF酸進樣系統的ELAN 500, 第一臺加強型渦輪分子泵的ELAN 5000緊接著是具備仿真及自動延伸檢測范圍功能的ELAN6000型ICP-MS系統。

珀金埃爾默公司的ICP-OES 是最受歡迎的產品之一，ICP-OES 的工廠一直設 在紐約近郊的Shelton,主要的技術研發人員在此工作了20余年，產品生產質量穩定，技術基礎雄厚，自1978年推出5000型以來，先后經歷了5500型、6500型、P II型、P1000 型、P2000 型、P40型、P400型的不斷改進，技術一直遙遙領先。1993 年推出的Optima3000型是世界上di一臺全譜直讀ICP_OES, 1994年推出專利的雙向觀測技術，使ICP-OES的性能進入了一個全新的階段。2000年推出的Optima 4000DV系列和Optima 2000DV是 第九代和第十代產品，采用了固態射頻發生器和全中文軟件，2004 年推出的Optima 5000DV系列和Optima 2100DV是珀金埃爾默公司的第十一代和第十二代產品，全面加強了形態分析的功能。2008 年推出的Optima 7000 系列是珀金埃爾默公司的第十三代產品，進-步提高了固態射頻發生器的可靠性，并針對食品安全等領域提出的新要求，大幅度提高了儀器的靈敏度，代表了當今ICP-OES技術的zui高成就。