根據檢測器的不同分為ICP一OES (電感耦合等離子發射光譜儀,也稱ICP-AES )和ICP-MS (電感耦合等離子質譜儀)。兩者均能測元素周期表中的絕大部分元素,但能測得元素稍微有異,檢測能力上后者要比前者高。因為ICP光源具有良好的原子化、激發和電離能力,所以它具有很好的檢出限。對于多數元素,其檢出限一般為0.1 ~ 100ng/ml ,可以同時測試多種元素,靈敏度高,檢測限低,測試范圍寬(低含量成分和高含量成分能夠同時測試)。電感耦合等離子體ICP-MS和ICP-OES的分析檢測極限有什么不同？

1，等離子體發射光譜（OES）將樣品溶液引入感應耦合氬氣等離子體（ICP）的芯中，該等離子體產生的溫度約為9,000K。 在這些溫度下，分析物原子和離子被熱激發并以其特征波長發光。 這個燈光束聚焦在光譜儀的入口狹縫上，并穿過衍射光柵，該光柵將光分解成其組成波長的光譜。 然后在光譜儀內，通過波長分離并收集該衍射光，并放大以產生強度測量值，該強度測量值可以通過與校準標準進行比較而轉換為元素濃度。

ICP-OES可同時分析常量和痕量組分,無需繁復的雙向觀測,還能同時讀出、無任何譜線缺失的全譜、直讀等離子體發射光譜儀,具有檢出限極低、重現性好,分析元,素多等顯著特點, ICP-OES大部份元素的檢出限為1 ~ 10ppb , 一些元素也可得到亞ppb級的檢出限。

2，等離子體質譜（MS）電感耦合氬等離子體（ICP）再次成為高溫源，并與四極質量分析儀耦合。 然而，與OES相反，ICP-MS中的等離子體用于產生加速到四極質量分析器中的離子。 然后根據它們的質荷比分離和收集離子。 然后可以識別和測量未知樣品的成分。 ICP-MS對各種元素具有極高的靈敏度。

ICP-MS電感耦合等離子體質譜儀以質譜儀作為檢測器,通過將樣品轉化為運動的氣態離子并按質荷比( M/Z )大小進行分離并記錄其信息來分析。ICP-MS的進樣部分及等離子體和ICP-AES的是極其相似的。

ICP-MS具有極低的檢出限,其溶液的檢出限大部分為ppt級,石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級,但由于ICP-MS的耐鹽星較差。ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍,一些輕元素(如S、Ca、 Fe、 K、Se)在ICP-MS中有嚴重的干擾,其實際檢出限也很差。

電感耦合等離子體ICP-MS和ICP-OES的分析檢測優勢：

批量化學分析技術，可以在單個樣品分析中同時確定最多70元素。
線性動態范圍超過幾個數量級。
儀器適用于自動化，從而提高準確性，精度和吞吐量。