電感耦合等離子體質譜(Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry，ICP-MS) 是20世紀80年代發展起來的無機元素分析技術。它以獨特的接口技術將ICP的高溫等離子體電離特性與質譜儀的靈敏、快速掃描的優點相結合，形成一種新型的元素分析技術。

ICP-MS基本原理：

進樣系統將待測物送進離子源——離子源把待測物中的原子、分子電離成離子——四極桿質量選擇器使離子按照質荷比的大小分離開——檢測器用以測量、記錄離子流強度——最后顯示得出質譜圖

ICP-MS優點：

與電感耦合等離子體光譜（ICP-OES）、原子吸收（AAS）和原子熒光（AFS）等無機元素分析技術相比，ICP-MS技術具有zui低的檢出限、zui寬的動態線性范圍、干擾zui少、分析精密度高、分析速度快、可進行多元素同時測定等優勢。

ICP-MS基本構造：

1、電感耦合等離子體光源（ICP）

電感耦合等離子體光源由RF發生器和進樣系統組成。

(1)進樣系統：它是將溶液樣品轉換為氣溶膠，使之進入ICP火焰。它包含霧化器、霧室、矩管、等離子氣、輔助氣、載氣以及各種氣路裝置系統。

(2)RF發生器：RF發生器通過工作線圈給等離子體輸送能量，維持ICP光源穩定放電，目前ICP的RF發生器主要有兩種震蕩類型，即自激式和它激式。

2、接口

接口一般由2～3個錐組成，分別為采樣錐和截取錐。采樣孔徑一般為0.75～1mm、經冷卻的采樣錐靠近等離子矩管，它的錐間孔對準矩管的中心管道，錐頂與矩管口距離為1cm左右。在采樣錐的后面有一截取錐，外形比采樣錐小，錐體比采樣錐大。截取錐與采樣錐一樣，在尖頂部有一小孔，兩錐間之間的安裝距離為6～7mm，并在同一軸心線上。

由ICP產生的離子經采樣孔進入真空系統，在這里形成超聲速射流，其中心部分流入截取孔。由于被提取的含有離子的氣體是以超聲速進入真空室的，且到達截取錐的時間僅需幾個微秒，所以樣品離子的成分及特性基本沒變化。

3、光學系統

光學系統一般由離子透鏡組成，有離軸設計的，也有非離軸設計的，主要作用是為了避免中性粒子的干擾，并達到傳輸離子、聚焦至四級桿的目的。

4、四級桿

四級桿是由四根截面為雙曲面或圓形的棒狀電極組成，兩組電極間施加一定的直流電壓和頻率為射頻范圍內的交流電壓。

如果使交流電壓的頻率不變而連續地改變直流和交流電壓的大小（但要保持它們的比例不變，電壓掃描），或保持電壓不變而連續地改變交流電壓的頻率（頻率掃描），就可使不同質荷比的離子依次到達收集器（檢測器）而得到質譜圖。

四級桿的優點是：分辨率較高；分析速度極快，最適合與ICP、氣相色譜儀和高效液相色譜儀聯用，但是準確度和精密度低于磁偏轉型質量分析器。

5、檢測器

檢測器通常采用的是配置電子倍增管的脈沖計數檢測器。

6、碰撞反應池

碰撞反應池技術由于專利的原因，各家都不一樣，成為最有區別的一個部分。有四級桿設計、六級桿設計、八級桿設計還有使用在接口上設計碰撞反應池技術的。四級桿設計和其它設計不同就在于四級桿能夠進行質量甄別，也就是可以讓一定范圍內的質量數通過。碰撞反應池可以使用包括甲烷、氧氣、氫氣和氦氣在內的任何一種氣體，還可以用氨氣、氧化氮等強反應氣。