電感耦合等離子體發射光譜分析法在物理學、化學、生物學和天文學等基礎學科的研究中，以及冶金、地礦、建材、機械、化工、農業、環保、食品和醫藥等國民經濟重要部門，都有廣泛的用途。包括：

1)冶金工業和金屬合金分析

電感耦合等離子體發射光譜儀分析法是傳統的應用領域之一。主要包括坯料和半成品快速半定量分析(用于金屬材料分類，機械零部件的不破壞分析，金屬和合金中少量元素和痕量元素的測定，金屬中微量夾雜物分析，金屬的局部、薄層和逐層分析，金屬合金中氣體分析，爐渣分析，爐前快速分析，以及純金屬中雜質分析等。

(2)地質勘探工作中分析

電感耦合等離子體發射光譜儀分析法主要包括根據全國儲量委員會的要求，研究礦樣的成分；初步定性與半定量分析，弄清元素的大概含量，以便選擇進一步分析的化學分析方法；地球化學樣品多元素同時分析；稀散、稀貴和稀土元素等稀有元素的定量分析，痕量元素的定量分析，微粒單礦物和微粒包裹體的鑒定分析。

(3)環保、農業和生物等樣品分析

電感耦合等離子體發射光譜儀分析法在環境保護、農業和生物等樣品分析方面的應用，主要包括空氣、大氣漂塵及顆粒物分析、土壤和肥料分析、植物、動物和有機灰分分析，以及天然水和污水分析等。雖然發射光譜法在這些領域的應用，目前還不如冶金和地質樣品的分析普遍，但出于這些領域在國民經濟中所具有的重要地位，和發射光譜法在解決這些領域分析問題方面所具有的潛力，正在受到廣泛的關注。特別對于某些痕量元素，如B、Co、Cu、Mn、Mo和Zn等，盡管在空氣、水和生物組織中的含量極低，但對植物和動物的生長發育，人類的健康有著密切關系。而ICP發射光譜儀分析法是測定這些痕量元素十分有效的方法之一。

(4)天文學研究分析

①天體星球化學組成的研究：曾采用發射光譜分析法發現太陽和各星球中存在著許多與地球上相同的元素(太陽上發現的元素已達66種)。另外還發現一些未能確定的光譜線，它們可能是在地球上不存在的元素的譜線，也可能在天體上的非尋常的激發條件(在地球上難于得到這種條件)下所得到的地球上亦存在的元素的譜線。

②星球運動速度與方向的研究：光譜線的多普勒效應，可用來測定星球的運動速度與轉動等情況，發射光譜法能發現望遠鏡所都能發現的雙星(如果假說雙星是兩個依次輪流向地球移近和移遠的物體，雙星的光譜線周期性地變成雙線)。

③星球的溫度測量根據不同譜線的強度比，可以測量星球的溫度(其原理與各種等離子體溫度測量方法相同)。

隨著電感耦合等離子體發射光譜儀的發展，它的應用范圍也逐步擴大，現在該儀器的運用已成為一種不可缺少的分析研究手段，同時促進了相關檢測儀器的發展。